Участник Нижегородского НОЦ получит 90 млн рублей от РНФ

ООО «НПИ», входящее в состав Нижегородского научно-образовательного центра (НОЦ), стало победителем конкурса Российского научного фонда на получение грантов для проведения ориентированных и прикладных исследований по направлению «Микроэлектроника» в сфере производства полупроводниковых приборов.

Поддержку получил проект по разработке методики и созданию опытной установки для получения высокочистых металлоорганических соединений TEMAH и TEMAZ. Эти соединения используются как базовые прекурсоры при формировании тонких пленок оксидов гафния и циркония в технологиях атомно-слоевого осаждения. Они применяются при создании современных интегральных схем, включая устройства памяти нового поколения FeRAM и ReRAM, а также при производстве микросхем с топологическими нормами 180 нм и ниже.

Общий объем финансирования проекта составит 94,5 млн рублей, из которых 90 млн рублей предоставит Российский научный фонд, еще 4,5 млн рублей — софинансирование со стороны заказчика технологического предложения, АО «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники».

Заместитель председателя правительства Нижегородской области Екатерина Солнцева отметила, что поддержка проектов по созданию критически важных материалов и технологий способствует укреплению позиций региона и развитию высокотехнологичных отраслей.

Проект предусматривает разработку технологии получения тетракис (этилметиламидо) гафния и тетракис (этилметиламидо) циркония с уровнем чистоты не ниже 6N, создание опытной установки для их синтеза производительностью не менее 25 кг в год каждого продукта, а также обеспечение воспроизводимости и стабильности характеристик соединений.

АНО «Нижегородский НОЦ» оказал аналитическую и экспертную поддержку при подготовке заявки на участие в конкурсе. Директор АНО «Нижегородский НОЦ» Александр Тарасенко подчеркнул, что проекты такого уровня направлены на обеспечение технологической независимости и внедрение научных решений в промышленность.

С начала 2026 года в рамках конкурса отдельных научных групп поддержку получили 16 региональных проектов с грантами от 4 до 7 млн рублей ежегодно. Также один проект ПИМУ Минздрава России стал победителем конкурса «мегагрантов» РНФ с финансированием до 50 млн рублей ежегодно. По итогам конкурса на продление сроков выполнения проектов, начатых в 2023 году, поддержку получили еще шесть нижегородских разработок.

Период с 2022 по 2031 год объявлен Указом Президента РФ Владимира Путина Десятилетием науки и технологий в России. Среди его задач — привлечение молодежи в сферу исследований и разработок, вовлечение ученых в решение приоритетных задач и повышение информированности о достижениях отечественной науки.