Участник Нижегородского НОЦ получит 90 млн рублей от РНФ на проект по разработке высокочистых соединений для микроэлектроники
Участник Нижегородского научно-образовательного центра (НОЦ) — ООО «НПИ» — стал победителем конкурса Российского научного фонда на получение грантов для выполнения ориентированных и прикладных научных исследований по направлению «Микроэлектроника» в области производства полупроводниковых приборов. Поддержку получил проект, направленный на разработку методики и создание опытной установки для получения высокочистых металлоорганических соединений TEMAH и TEMAZ. Эти соединения относятся к числу базовых прекурсоров, применяемых при формировании тонких пленок оксидов гафния и циркония в технологиях атомно-слоевого осаждения. Такие процессы широко используются при создании современных интегральных схем, включая устройства памяти нового поколения, такие как FeRAM и ReRAM, а также при производстве микросхем с топологическими нормами 180 нм и ниже. В настоящее время отсутствие отечественного производства таких соединений формирует зависимость от внешних поставок, что существенно ограничивает возможности развития микроэлектронной промышленности. Общий объем финансирования проекта составит 94,5 млн рублей, из которых 90 млн рублей будут предоставлены Российским научным фондом, а 4,5 млн рублей обеспечены за счет софинансирования со стороны организации-заказчика технологического предложения — АО «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники». «Нижегородская область последовательно формирует экосистему, объединяющую научные организации, университеты и промышленность. Поддержка проектов, направленных на создание критически важных материалов и технологий позволяет укрепить позиции региона и внести значимый вклад в развитие всех отечественных высокотехнологичных отраслей», — отметила заместитель председателя правительства Нижегородской области Екатерина Солнцева. Проект предусматривает разработку технологии получения тетракис (этилметиламидо) гафния и тетракис (этилметиламидо) циркония с уровнем чистоты не ниже 6N, создание опытной установки для их синтеза с производительностью не менее 25 кг в год каждого продукта, а также обеспечение воспроизводимости и стабильности характеристик получаемых соединений. АНО «Нижегородский НОЦ» оказал аналитическую и экспертную поддержку при подготовке заявки на участие в конкурсе. «Проекты такого уровня являются ключевыми для обеспечения технологической независимости страны. Важно, что речь идет не только о проведении научных исследований, но и о создании конкретных технологических решений, ориентированных на внедрение в промышленность. Нижегородский НОЦ оказывает комплексную поддержку участникам, в том числе на этапе подготовки заявок, и мы видим, что такая работа приносит ощутимые результаты», — подчеркнул директор АНО «Нижегородский НОЦ» Александр Тарасенко. Напомним, что с начала 2026 года в рамках конкурса отдельных научных групп поддержку получили 16 региональных проектов, размер каждого гранта составляет от 4 до 7 млн рублей ежегодно, а также один проект ПИМУ Минздрава России по итогам конкурса «мегагрантов» РНФ для проведения исследований под руководством ведущих зарубежных ученых, финансирование данной инициативы составит до 50 млн рублей ежегодно. Дополнительно по итогам конкурса на продление сроков выполнения проектов, начатых в 2023 году, поддержку получили еще шесть нижегородских разработок. Период с 2022-го по 2031 год указом президента РФ Владимира Путина объявлен Десятилетием науки и технологий в России. Основные задачи Десятилетия — привлечение талантливой молодежи в сферу исследований и разработок, вовлечение исследователей и разработчиков в решение важнейших задач развития общества и страны, а также повышение информированности россиян о достижениях и перспективах отечественной науки. Со всей актуальной информацией о проекте и его инициативах можно ознакомиться на сайте: наука.рф.