Canon начнет выпуск установок для нанопечатной литографии уже в этом году
Компания Canon готовится к выпуску своей машины для нанопечатной литографии FPA-1200NZ2C в этом году. Хироаки Такеиши, председатель совета директоров и генеральный директор компании, сообщил о планах начать поставки в 2024 году, подчеркнув простоту и экономичность производства чипов с использованием этой технологии.
Нанопечатная литография, в отличие от традиционных методов, исключает необходимость в источнике света. Вместо этого используется простой принцип переноса маски схемы на покрытую резистом поверхность пластины. Эта технология позволяет создавать сложные двух- и трехмерные узоры за один проход, снижая энергопотребление примерно на одну десятую по сравнению с передовыми методами экспонирования логики.
Canon не стремится напрямую конкурировать с EUV от ASML, а считает, что различные технологии литографии могут сосуществовать, способствуя общему росту отрасли, отметил Такейши. Сообщается, что такие компании, как SK Hynix и Kioxia, уже протестировали машины Canon для, особенно подходящие для флэш-памяти NAND высокой емкости с трехмерной структурой.